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全自动监测电子抗蚀剂浓度在线分析仪

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最后更新: 2021-07-10 11:57
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温控功能 
MSDR-70HD全自动监测电子抗蚀剂浓度在线分析仪在线检测抗蚀剂浓度不受颜色、粘稠度、浑浊度,气泡,固体颗粒等杂质的影响;操作简单方便、维护量少、工作可靠;具备自动温度补偿功能,测量精度±0.1%,数据每5秒钟刷新一次,

详细介绍

电子抗蚀剂浓度是一项非常重要工艺参数指标,关系到生产工艺过程控制稳定溶液的浓度是指在一定量的溶液(或溶剂)中所含溶质的量,传统的抗蚀剂溶液浓度分析测量方法是全工操作,容易受取样环境、温度变化、人工操作等因素影响不能够有效保障产品稳定的质量指标。导致浓度工艺控制滞后,自动化水平较低,无法实时对浓度进行全自动监测与控制。

由于光在不同介质中的传播速度不同,光从一种介质射像另一种介质时,光的传播方向发生了改变,这种现象叫做光的折射。人类对光的折射进行了长期的研究,总结出光在发生折射时所遵循的基本定律——光的折射定律。由于每一种介质的浓度都与光的折射率相关。在实际应用中,我们可以利用测量光发生折射时的临界角来确定电子抗蚀剂的浓度

三联测控MSDR-70HD型全自动监测电子抗蚀剂浓度在线分析仪采用临界角折光检测原理开发的一款高精度、高性价比的在线式浓度测量仪器。可适用于生产管线或体容器以及其它多种安装方式,在线检测抗蚀剂浓度不受颜色、粘稠度、浑浊度,气泡,固体颗粒等杂质的影响;操作简单方便、维护量少、工作可靠;具备自动温度补偿功能测量精度±0.1%,数据每5秒钟刷新一次,确保不漏掉每一个数据变化。全浇注玻璃钢外壳和全屏蔽内壁设计,无耗材,无漂移;浓度检测值可现场显示,检测数据可通过4-20mA模拟信号或RS485通讯信号连接PLC或DCS进行自动化控制调节浓度,有效避免人工测量不及时导致度出现偏高或偏低的情况,杜绝人为控制的浓度失调改变长期以来靠人工测量、人工记录、手工控制的粗放式生产管理方式,全面提高抗蚀剂浓度的稳定性

MSDR-70HD型全自动监测电子抗蚀剂浓度在线分析仪主要技术参数

1、出厂校准和自动温度补偿,直接投入使用,无需现场校准

2、测量范围:0.0-51.0%;  折射率1.33300-1.46500    

3、分辨率:浓度 0.1%; 折射率0.00001nD; 温度 0.1℃

4、测量精度:浓度±0.1%;折射率±0.00002nD;温度±0.5℃

5、温度补偿:5-60℃   环境温度:-20.0-60.0℃

6、防护等级:测量部分IP67    耐压:≤1.0MPa

7、测量时间:默认 5 秒测量1次(可设置)    

8、安装方式:螺纹,法兰盘,卡盘等。支持定制。

9、输出: 模拟输出:24V 4-20mA 对应浓度 0.0-51.0%

10、数字输出:RS485(可定制其他输出方式)

11、输入:DC +24V±10%    电流<100mA

12、选购件:自动清洗装置,采用压缩空气或高压水及超声波自动清洗棱镜表面,适用于较脏的液体,防止污垢附着,确保测量精度


 

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